Semicon中腐蚀保护的PFA纸

半成品 - PFA GGS

半导体产业以其关于水和化学品纯度的严格要求而闻名。此外,这些化学品通常非常腐蚀。我们的长期合作伙伴Agru韩国工业有限公司。在该领域拥有大量经验,负责玻璃面料支持PFA纸张的许多有趣的应用。

为了在半导体行业中清洁工艺设备,展示生产和薄膜太阳能电池产量,通常使用三氟化氮(NF3)气体。它通过血浆破碎原位,并得到的荧光rine原子是活性清洁剂。产生NF3的可能性不同。

PFA GGS电解浴室

对于NF3 - 气体的生产,电解浴被广泛使用。为了为分析浴提供充足的腐蚀保护和长寿,2017年Agu PFA玻璃织物背衬片适用于这种电解浴的内侧衬里。

Agru PFA衬里坦克,用于加热ABF生产NF3
PFA衬里罐用于加热ABF生产NF3

双氟化铵的PFA GGS纸

双氟化铵(ABF)是制备NF3的源极。通过加热ABF至150°C,产生NF3气体。ABF和NF3非常腐蚀,特别是在高温下。为了提供足够的耐腐蚀保护,从Agru安装了PFA GGS 2.3 mm纸张,用于在150°C下加热ABF的罐内衬里的内衬(见图)。

PFA.具有高达260°C的优异耐化学性。所描述的项目记录了PFA玻璃织物背衬片的成功应用,用于半导体工业中的应用。


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